В монографии освещены вопросы исследования структурных морфологических, оптических, электрофизических и термоэлектрических свойств пленок германосилицида никеля, полученных методом быстрого термического отжига (БТО) на поверхности объемных кристаллов SiGe в условиях вакуума. Представленные результаты основаны преимущественно на научных достижениях авторов. В работе проведен отдельный анализ влияния термической обработки на процессы фазообразования в системе Ni-Si-Ge взаимную диффузию, формирование дефектов и механизмы переноса заряда. Полученные результаты имеют важное научно-практическое значение для создания перспективных полупроводниковых фотоэлектрических и термоэлектрических материалов и структур.