Монография состоит из двух книг. Первая книга посвящена введению в наноэлектронные технологии. Рассмотрены свойства и методы анализа поверхностей и наноструктур, технологические методы получения тонких пленок методами ионной имплантации, ионного травления, ионной литографии; технологии получения материалов для наноэлектроники на основе пористого кремния, углеродных наноструктурных материалов. Во второй книге рассматриваются результаты некоторых исследований наноструктурных материалов и функциональных наноэлектронных устройств. Монография предназначена для широкого круга читателей – от специалистов до сту- дентов вузов электронных направлений обучения